[发明专利]微型加热器及其加工方法

摘要

本发明公开了一种微型加热器及其加工方法，所述微型加热器包括：衬底、支撑膜、加热件和封装壳。衬底具有沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，衬底上设有在厚度方向贯穿其的隔热通孔，且衬底上设有连通隔热通孔和外界的通气结构，支撑膜设在衬底的第一表面上且封盖隔热通孔的第一端，加热件设在支撑膜的远离隔热通孔的表面上，封装壳设在衬底的第二表面上且封盖隔热通孔的第二端。根据本发明的微型加热器，通过在衬底上设置连通隔热通孔和外界的通气结构，由此在微型加热器工作时，由隔热通孔、支撑膜和封装壳限定的腔室与外界连通，防止由于腔室的内外存在的压力差而导致器件易损坏的问题。

主权项

一种微型加热器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底具有沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，所述衬底上设有在厚度方向贯穿其的隔热通孔，且所述衬底上设有连通所述隔热通孔和外界的通气结构；支撑膜，所述支撑膜设在所述衬底的所述第一表面上且封盖所述隔热通孔的第一端；加热件，所述加热件设在所述支撑膜的远离所述隔热通孔的表面上；封装壳，所述封装壳设在所述衬底的所述第二表面上且封盖所述隔热通孔的第二端。