[发明专利]用于真空环境中的多功能处理装置有效
| 申请号： | 201710269763.X | 申请日： | 2017-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN108728800B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 高鸿钧;任俊海;郇庆 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/30;C21D1/773;C21D1/34;H01J37/02;H01J37/20 |
| 代理公司： | 11497 北京市正见永申律师事务所 | 代理人： | 黄小临;冯玉清 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及用于真空环境中的多功能处理装置。根据一实施例，一种多功能处理装置可包括：金属平台，包括圆筒状侧壁和封盖圆筒状侧壁的一端的平台层，所述平台层的中央部分处具有开口以用于容纳样品架，所述金属平台上具有第一电极以用于向所述金属平台施加电压；绝缘筒，设置在所述金属平台下侧；水冷筒，设置在所述绝缘筒下侧，所述绝缘筒将所述金属平台和所述水冷筒彼此绝缘地物理连接在一起；以及灯丝，设置在所述金属平台、所述绝缘筒和所述水冷筒定义的筒状空间内并且正对着所述开口，所述灯丝的两端分别连接到两根螺杆电极，所述两根螺杆电极安装到绝缘板上，所述绝缘板固定到所述水冷筒的下侧。 | ||
| 搜索关键词： | 金属平台 绝缘筒 水冷筒 多功能处理装置 圆筒状侧壁 螺杆电极 真空环境 绝缘板 平台层 灯丝 开口 第一电极 施加电压 筒状空间 物理连接 样品架 封盖 正对 绝缘 容纳 | ||
【主权项】：
1.一种多功能处理装置，包括：/n金属平台(10)，包括圆筒状侧壁(12)和封盖圆筒状侧壁的一端的平台层(14)，所述平台层的中央部分处具有开口(16)以用于容纳平板型样品架，所述金属平台上具有第一电极(20)以用于向所述金属平台施加电压；/n绝缘筒(30)，设置在所述金属平台下侧；/n水冷筒(50)，设置在所述绝缘筒下侧，所述绝缘筒将所述金属平台和所述水冷筒彼此绝缘地物理连接在一起；以及/n灯丝(60)，设置在所述金属平台、所述绝缘筒和所述水冷筒定义的筒状空间内并且正对着所述开口，所述灯丝的两端分别连接到两根螺杆电极(62，64)，所述两根螺杆电极安装到绝缘板上，所述绝缘板固定到所述水冷筒的下侧。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院物理研究所，未经中国科学院物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710269763.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种三腔电机箱的表面处理方法
- 下一篇：蒸镀装置及蒸镀方法
- 同类专利
- 专利分类
