[发明专利]一种涂布头及涂布机有效
| 申请号： | 201710269221.2 | 申请日： | 2017-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN106938239B | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 但清华 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种涂布头及涂布机，该涂布头包括：本体部和喷嘴；在所述本体部内的两侧分别设置有光阻注入槽；所述喷嘴设置在所述本体部的下方，所述喷嘴与其中一侧的光阻注入槽连通。本发明的涂布头及涂布机，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 布头 涂布机 | ||
【主权项】：
1.一种涂布头，其特征在于，包括：本体部和喷嘴；在所述本体部内的两侧分别设置有光阻注入槽；所述喷嘴设置在所述本体部的下方，所述喷嘴与其中一侧的光阻注入槽连通，所述光阻注入槽包括三个沿相同方向排列且相互连通的沟槽，所述三个沟槽的宽度从上至下依次减小，所述涂布头还包括两个排气口、两个光阻注入口，每个光阻注入槽对应一所述排气口和一所述光阻注入口，所述排气口和所述光阻注入口分别与对应的光阻注入槽连接，所述光阻注入口包括主注入口和子注入口，所述主注入口的口径大于所述子注入口的口径。
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