[发明专利]一种离子风集电极的制造方法在审
| 申请号: | 201710265208.X | 申请日: | 2017-04-21 |
| 公开(公告)号: | CN107039889A | 公开(公告)日: | 2017-08-11 |
| 发明(设计)人: | 王长宏;黄嘉中;陈宏铠;苏晓键;冯杰;黎杰扬 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
| 主分类号: | H01T23/00 | 分类号: | H01T23/00 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 罗满 |
| 地址: | 510062 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种离子风集电极的制造方法,其利用覆铜基板,并采用光刻技术或热转印技术与化学溶解基板相结合的方法来快速制作离子风集电极,成本低廉,工艺可操作性强,且生产效率高,并且可根据个人实验需求快速做出风孔形状和大小不同的集电极铜网,短时间内即可得到所需集电极,因此能够解决集电极制作成本高、等待周期长且无法根据所需风孔形状迅速制造出不同类型的集电极来满足实验要求等问题。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 离子 集电极 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种离子风集电极的制造方法,其特征在于,包括,S1:绘制所需集电极的结构线路图;S2:将所述结构线路图印制在覆铜基板的铜箔上;S3:去除所述覆铜基板上暴露的所述铜箔,得到所述铜箔形状为所述线路结构图的线路板;S4:去除所述线路板的基板,得到集电极。
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