[发明专利]一种泡生法制备蓝宝石晶体的生长方法在审
| 申请号： | 201710261408.8 | 申请日： | 2017-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN107059115A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 郝贵荣 | 申请（专利权）人： | 山西中聚晶科半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 030600 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明具体涉及一种泡生法制备蓝宝石晶体的生长方法。解决的技术问题是提供一种泡生法制备蓝宝石晶体的生长过程中温度调控的方法。采用的技术方案为一种泡生法制备蓝宝石晶体的生长方法，在所使用的晶体生长炉内原加热器与侧反射屏的中央还设置有一圈螺距为5‑6cm螺旋加热钨丝，在加热化料的过程中，螺旋加热钨丝与原加热器同步；在引晶步骤完成后，控制螺旋加热钨丝的电压使其在原恒定温度的基础上进行温度波动，温度波动的幅度是±0.3‑0.5℃，完成一次温度波动循环的时间是5‑10s；该过程直到拉脱工艺结束，控制螺旋加热钨丝与原加热器一起降温。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 法制 蓝宝石 晶体 生长 方法 | ||
【主权项】：
一种泡生法制备蓝宝石晶体的生长方法，在大尺寸蓝宝石单晶生长炉内，完成装炉、抽真空、加热化料、辅助温度场调节、引晶、放肩、收肩、等径生长、拉脱、降温退火及出炉工艺过程，其特征在于，所使用的晶体生长炉内，还设置有一圈螺旋加热钨丝，所述螺旋加热钨丝设置在晶体生长炉内原加热器与侧反射屏的中央，所述螺旋加热钨丝的螺距为5‑6cm；所述螺旋加热钨丝单独控制加热；在加热化料的过程中，螺旋加热钨丝与原加热器同步；在引晶步骤完成后，控制螺旋加热钨丝的电压使其在原恒定温度的基础上进行温度波动，温度波动的幅度是±0.3‑0.5℃，完成一次温度波动循环的时间是5‑10s；该过程直到拉脱工艺结束，控制螺旋加热钨丝与原加热器一起降温。
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