[发明专利]一种光纤端面薄膜型气压传感器的制备方法及制备装置

摘要

本发明适用于光纤传感领域，提供了一种光纤端面薄膜型气压传感器的制备装置，包括光源模块、光纤耦合器、光谱采集与分析模块、传导光纤、薄膜和热风发生模块；所述光源模块的输出端口连接所述光纤耦合器的第一端口；所述光纤耦合器的第二端口连接所述传导光纤的输入端口，所述光纤耦合器的第三端口连接所述光谱采集与分析模块的输入端口；所述薄膜位于所述传导光纤的输出端口的端面；所述光谱采集与分析模块的输出端口连接所述热风发生模块的输入端口。本发明实施例通过热风发生模块产生的热风精确控制所述薄膜的厚度，制造出的光纤端面薄膜型气压传感器精度高，同时制作方法简单，成本低。

主权项

一种光纤端面薄膜型气压传感器的制备装置，其特征在于，所述制备装置包括光源模块、光纤耦合器、光谱采集与分析模块、传导光纤、薄膜和热风发生模块，其中；所述光源模块的输出端口连接所述光纤耦合器的第一端口，用于产生预置波长的照射光，并将所述照射光通过所述输出端口发送给所述光纤耦合器；所述光纤耦合器的第二端口连接所述传导光纤的输入端口，所述光纤耦合器的第三端口连接所述光谱采集与分析模块的输入端口，用于对所述照射光进行耦合，并将耦合后的照射光发送给所述传导光纤；所述传导光纤的输出端口的端面包裹有所述薄膜，用于将所述耦合后的照射光传导到所述薄膜进行反射，并收集所述薄膜的反射光发送给所述光纤耦合器，以通过所述光纤耦合器将所述反射光发送给所述光谱采集与分析模块；所述光谱采集与分析模块的输出端口连接所述热风发生模块的输入端口，用于根据所述反射光的光波长和所述反射光的自由光谱宽度并通过预置的薄膜厚度计算公式计算得到所述薄膜的厚度，将所述薄膜的厚度与预置的薄膜厚度进行比较，根据比较结果生成控制信号并发送给所述热风发生模块；所述热风发生模块，用于根据所述控制信号产生对应温度和风速的热风，所述热风作用于所述薄膜表面，用以将所述薄膜的厚度控制至预置的薄膜厚度，并将所述薄膜固定在所述传导光纤的输出端口的端面上。