[发明专利]基于巨压阻传感器的高灵敏度气体流量测量装置及方法有效
| 申请号： | 201710239210.X | 申请日： | 2017-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN106895886B | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 张加宏;王银;曹鸿霞;单鹏 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01F1/56 | 分类号： | G01F1/56 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 210044 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于巨压阻传感器的高灵敏度气体流量测量装置及方法，装置包括若干个环绕在管道外壁上的巨压阻传感器，巨压阻传感器包括自下至上叠放的玻璃基底层、硅底层和绝缘二氧化硅层，绝缘二氧化硅层四周设置有硅铝异质结，硅铝异质结包括自内而外依次嵌套的内层硅、中间层铝和外层硅，硅铝异质结的两端设置有金属边，金属边通过引线连接金属片，金属片通过其上引出的电极连接铝端子；本发明采用硅铝异质结在相同应力下产生更大的阻值变化，使得压阻系数与应变系数成倍的增加，提升了灵敏度，使得测量数据更加准确；巨压阻传感器以120°环绕安装在通过待测气体的管道上，可以测量管道不同位置的数据，得到真实的气体流量值。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 巨压阻 传感器 灵敏度 气体 流量 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基于巨压阻传感器的高灵敏度气体流量测量装置，其特征在于：包括若干个环绕安装在被测气体的管道外壁上的巨压阻传感器，每个巨压阻传感器包括自下至上依次叠放的玻璃基底层、硅底层和绝缘二氧化硅层，所述绝缘二氧化硅层上表面的四周分别设置有一组硅铝异质结，每组硅铝异质结包括自内而外依次嵌套的内层硅、中间层铝和外层硅，硅铝异质结的两端均设置有金属边，每个金属边各自通过引线连接金属片，金属片通过其上引出的电极连接有铝端子。
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