[发明专利]压力传感器

摘要

本发明涉及一种压力传感器。传感器模块（2）与连接器（1）由不同的金属材料形成。传感器模块（2）具备：位于薄膜部（23）侧的第一部（91）、具有比第一部（91）直径更大的大径部（25）的第二部（92），在连接器（1）中，形成有供大径部（25）的外周缘部卡合的台阶（11A），大径部（25）与连接器（1）经由接合部（8）彼此接合。接合部（8）是被称为金属流动的塑性变形结合。在连接器（1）与模块主体（21）之间，形成有空间（S）。

主权项

一种压力传感器，其特征在于，具备传感器模块和连接器，前述传感器模块具有被导入被测定流体的开口端、根据从前述开口端导入的被测定流体的压力进行移位的薄膜部，前述连接器安装前述传感器模块，形成有向前述传感器模块导入被测定流体的导入孔，前述传感器模块与前述连接器由不同的金属材料形成，前述传感器模块具备位于前述薄膜部侧的第一部、位于前述开口端侧且具有相对于前述第一部直径较大的大径部的第二部，在前述连接器上，形成供前述大径部的外周缘部卡合的台阶，前述大径部经由接合部与前述连接器接合，前述接合部形成于前述大径部的外周部分与前述连接器之间，位于周向的部分以具有局部的塑性变形和弹性变形压的方式咬入，并且，封住轴向的弹性变形压，维持轴向的结合，在前述连接器与至少前述第一部之间，形成有下述空间，该空间在将前述连接器和前述大径部接合时，阻止在前述连接器处产生的应力向前述薄膜部传递。