[发明专利]激光诱导向前转移制备结构色薄膜的装置和方法

摘要

本发明公开了一种激光诱导向前转移实现结构色薄膜制备的装置和方法，属于激光应用及结构色制备技术领域，该系统包括：激光光源、光路调节系统和精密移动系统，激光光源与所述光路调节系统相连接，精密移动系统位于所述光路调节系统的下面；光路调节系统包括准直扩束透镜组，与之相连接的扫描振镜系统，扫描振镜系统由两个互相垂直的平面反射镜、电机以及振镜控制器组成，平面反射镜连接振镜控制电机，振镜控制电机连接振镜控制器，扫描振镜系统连接f‑θ透镜；精密移动系统包括精密移动(Z轴方向)、运动控制器和计算机，计算机通过运动控制器和精密移动相连接，精密移动用于放置初始基片和接收基片。本发明可实现快速、高精度、大幅面的结构色，有利于大大降低制造成本和制造周期。

主权项

1.一种激光诱导向前转移技术制备结构色薄膜的装置，其特征在于，该装置包括：激光光源、光路调节系统和精密移动系统，所述激光光源与所述光路调节系统相连接，所述精密移动系统位于所述光路调节系统的下面；所述光路调节系统包括准直扩束透镜组，与之相连接的扫描振镜系统，所述扫描振镜系统由两个互相垂直的平面反射镜、振镜控制电机以及振镜控制器组成，平面反射镜与振镜控制电机相连接，振镜控制电机与振镜控制器相连接，所述扫描振镜系统连接f‑θ透镜；所述精密移动系统包括精密移动平台、运动控制器和计算机，所述计算机通过运动控制器和精密移动平台相连接，所述精密移动平台用于放置初始基片和接收基片。