[发明专利]承载机台和曝光方法有效
| 申请号： | 201710190148.X | 申请日： | 2017-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN106802537B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 闫春龙;李建军;白鑫;刘桂琪 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 焦玉恒 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种承载机台和曝光方法。该承载机台包括多个子机台。多个子机台被配置为共同承载物体，各子机台包括具有第一承载面的平台以及位置调节单元，位置调节单元设置在平台远离第一承载面的一侧并可调节平台的高度和/或倾斜角度。由此，该承载机台可提供一种新型的承载机台，可用于调整待曝光物体上不同位置处的曝光间距。 | ||
| 搜索关键词： | 承载 机台 曝光 方法 | ||
【主权项】：
一种承载机台，包括：多个子机台，被配置为共同承载物体；其中，各所述子机台包括：平台，具有第一承载面；以及位置调节单元，设置在所述平台远离所述第一承载面的一侧并被配置为调节所述平台的高度和/或倾斜角度。
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