[发明专利]麦克风及其制造方法有效
| 申请号： | 201710148001.4 | 申请日： | 2017-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN108569672B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 石慧 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 曲瑞 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种麦克风及其制造方法，涉及半导体技术领域。其中，所述麦克风包括：衬底，所述衬底具有用于收集声音的开口，所述开口中具有支架；其中，所述支架包括：组成封闭图形的第一支架；以及用于连接所述第一支架和所述开口的边缘的第二支架。本发明实施例可以提高麦克风的机械可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 麦克风 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种麦克风，其特征在于，包括：衬底，所述衬底具有用于收集声音的开口，所述开口中具有支架；其中，所述支架包括：组成封闭图形的第一支架；以及用于连接所述第一支架和所述开口的边缘的第二支架。
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