[发明专利]水系抗蚀剂剥离液的调制装置以及非水系抗蚀剂剥离液的调制装置

摘要

本发明提供由原料高精度、自动且连续地调制规定的成分浓度的抗蚀剂剥离液的抗蚀剂剥离液的调制装置。调制装置(10)具备调制槽(3)、测定机构(2)以及控制机构(1)。调制槽(3)接受抗蚀剂剥离液的原料的供给并将它们混合。对于调制槽(3)内的抗蚀剂剥离液，测定机构(2)测定与抗蚀剂剥离液的成分浓度具有相关关系的抗蚀剂剥离液的物性值或抗蚀剂剥离液的成分浓度中的至少一方。控制机构(1)根据由测定机构(2)测定出的测定值，控制向调制槽(3)供给的抗蚀剂剥离液的原料的供给量，以使得在调制槽内调制的抗蚀剂剥离液成为规定的成分浓度。通过自动且连续地进行上述步骤，从而高精度地调制出所希望的成分浓度的抗蚀剂剥离液。

主权项

一种水系抗蚀剂剥离液的调制装置，具备：调制槽，其调制规定的成分浓度的水系抗蚀剂剥离液；测定机构，对于所述调制槽内的水系抗蚀剂剥离液，所述测定机构测定与水系抗蚀剂剥离液的成分浓度具有相关关系的水系抗蚀剂剥离液的物性值、以及水系抗蚀剂剥离液的成分浓度中的至少一方；以及控制机构，其根据由所述测定机构测定出的测定值，控制向所述调制槽供给的水系抗蚀剂剥离液的原料的供给量，以使得所述调制槽内的水系抗蚀剂剥离液成为所述规定的成分浓度。