[发明专利]一种基于混合干涉条纹的白光显微干涉形貌重建方法有效
| 申请号： | 201710127242.0 | 申请日： | 2017-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN106643559B | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 周毅;唐燕;陈楚仪;邓钦元;谢仲业;田鹏;李凡星;胡松;赵立新 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明是一种基于混合干涉条纹的白光显微干涉形貌重建方法，利用Mirau型白光干涉光学系统，通过压电陶瓷移动台精密控制干涉物镜纵向扫描移动，将采集得到的一系列白光显微干涉图进行保存。首先，将所采集到的干涉灰度图转换为光强图，通过频域滤波以及基频信号提取算法，获得单帧干涉图像对应的归一化调制度图，针对每个独立纵向扫描位置，利用同一像素点光强值与对应调制度数值的乘积获取一帧混合干涉图像。最后通过纵向扫描获取得到一系列混合干涉图像，通过寻找混合干涉极值及其相应扫描位移来获取被测物体每个像素点的高度信息，从而实现物体三维形貌重建。本方法具有测量精度高，抗干扰能力强，系统简单等特点，适用于微纳结构三维形貌检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 混合 干涉 条纹 白光 显微 形貌 重建 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于混合干涉条纹的白光显微干涉形貌重建方法，其特征是：测量过程中，通过宽光谱光源入射到光学成像系统，透过Mirau干涉物镜使光线分为两束，一束反射到参考镜面，另一束透射到被测物体表面，最后两束光线发生干涉并通过CCD(Charge‑coupled device)采集干涉图，利用压电陶瓷(PZT)控制Mirau干涉物镜纵向高精度扫描移动，将CCD采集得到的一系列干涉图进行保存，将所采集到的干涉灰度图转换为光强图，通过频域滤波以及基频信号提取算法，获得单帧干涉图像对应的归一化调制度图，针对每个独立纵向扫描位置，利用同一像素点光强值与对应调制度数值的乘积获取一帧混合干涉图像；最后通过纵向扫描获取得到一系列混合干涉图像，通过寻找混合干涉极值及其相应扫描位移来获取被测物体每个像素点的高度信息，从而实现物体三维形貌重建。
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