[发明专利]一种音圈电机驱动二维超精密定位平台在审
| 申请号： | 201710107153.X | 申请日： | 2017-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN106907550A | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 李震;雷志斌;尹远飞;刘玉县;林晓明 | 申请（专利权）人： | 华南农业大学 |
| 主分类号： | F16M11/04 | 分类号： | F16M11/04 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所44329 | 代理人： | 杨晓松 |
| 地址： | 510642 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种音圈电机驱动二维超精密定位平台，第一电机安装于横底座上；上下移动平台固连在第一电机上方由第一电机驱动沿着铺设于竖底座的第一导轨上下移动，并由分别安装在竖底座侧面的第一光栅尺读数尺和上下移动平台侧面的第一光栅尺读数头配合测量上下位移量；前后移动平台位于上下移动平台上方，由安装在上下移动平台上的第二电机驱动沿着铺设于上下移动平台上的第二导轨前后移动，并由分别安装在上下移动平台侧面的第二光栅尺读数头和前后移动平台侧面的第二光栅尺读数尺配合测量前后位移量；本发明具有传动误差小、平台体积小、响应速度快、承载能力强、精确度高、人机效能高、可实现不同控制模式等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电机 驱动 二维 精密 定位 平台 | ||
【主权项】：
一种音圈电机驱动二维超精密定位平台，其特征在于：包括平台底座(1)、移动平台(2)、第一、二导轨(3、4)、第一、二电机(5、6)以及第一、二光栅尺(9、10)，其中，平台底座(1)由横底座(101)和竖底座(102)组成，第一电机(5)安装于横底座(101)上；移动平台(2)包括上下移动平台(7)和前后移动平台(8)，上下移动平台(7)固连在第一电机(5)上方由第一电机(5)驱动沿着铺设于竖底座(102)的第一导轨(3)上下移动，并由分别安装在竖底座(102)侧面的第一光栅尺(9)读数尺和上下移动平台(7)侧面的第一光栅尺(9)读数头配合测量上下位移量；前后移动平台(8)位于上下移动平台(7)上方，由安装在上下移动平台(7)上的第二电机(6)驱动沿着铺设于上下移动平台(7)上的第二导轨(4)前后移动，并由分别安装在上下移动平台(7)侧面的第二光栅尺(10)读数头和前后移动平台(8)侧面的第二光栅尺(10)读数尺配合测量前后位移量。
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