[发明专利]用于抛光设备中的供液装置有效
| 申请号： | 201710093550.6 | 申请日： | 2017-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN106956218B | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 赵慧佳;路新春;沈攀 | 申请（专利权）人： | 天津华海清科机电科技有限公司;清华大学 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 300350 天津市津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于抛光设备中的供液装置，包括：供液管路，用于在抛光设备进行抛光操作时，为抛光设备的抛光盘进行供液；第一支撑部，第一支撑部的一端指向抛光盘方向，第一支撑部用于支撑供液管路；第二支撑部，第二支撑部的一端与第一支撑部的另一端相连，第二支撑部具有可移动组件，第二支撑部通过可移动组件在抛光设备中的挡板上可移动。由此，第二支撑部通过可移动组件在挡板上进行移动，可以带动第一支撑部沿着挡板进行移动，从而可以带动供液管路沿着挡板进行移动，进而使得抛光液落点可以调节到抛光盘的任意位置，扩大了供液位置的可调节范围。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 抛光 设备 中的 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于抛光设备中的供液装置，其特征在于，包括：供液管路，用于在所述抛光设备进行抛光操作时，为所述抛光设备的抛光盘进行供液；第一支撑部，所述第一支撑部的一端指向所述抛光盘方向，所述第一支撑部用于支撑所述供液管路；第二支撑部，所述第二支撑部的一端与所述第一支撑部的另一端相连，所述第二支撑部具有可移动组件，所述第二支撑部通过所述可移动组件在所述抛光设备中的挡板上可移动，其中，所述挡板的形状为圆形，以使所述第二支撑部在所述可移动组件与所述挡板的配合下，可带动所述第一支撑部的移动，从而可以使得所述供液管路围绕所述挡板进行旋转移动，进而实现所述供液管路对抛光盘的供液；伸缩架，其中，所述伸缩架包括：第一结构，所述第一结构与所述第一支撑部的形状一致，所述第一结构用于固定所述供液管路；第二结构，所述第二结构与所述第一结构一体成型为T型，其中，所述第二结构开腰形槽，且所述第二结构通过调整螺丝与所述第一支撑部相连，并通过所述调整螺丝对所述第一结构与所述第一支撑部之间的距离进行调节。
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