[发明专利]一种精密转台跳动检测装置及检测方法

摘要

本发明提出一种精密转台跳动检测装置及检测方法，属于光学检测技术领域，以实现精密转台轴向、径向跳动量检测。本检测装置利用平行光管、聚焦透镜、五棱镜和高精度标准球体检测精密转台旋转过程的跳动量。由平行光管发射出的平行光束经聚焦透镜聚焦，焦点照射到标准球体表面上，聚焦光束经过标准球体反射，再经过聚焦透镜后到平行光管，并照射到平行光管内的探测器上，根据反射光线的中心线与入射光线的中心线之间的位置变化差来测量精密转台的跳动量。本检测方法无接触、精度高、简单易行，可实现精密转台轴向和径向两个方向的跳动量检测，满足精密转台微小跳动量的检测需求，同时可用于其他轴类跳动量的检测。

主权项

1.一种精密转台跳动检测装置，其特征在于，包括标准球体(2)和光学仪器组件，所述光学仪器组件由聚焦透镜(3)、平行光管(4)组成，所述标准球体、聚焦透镜、平行光管依次间隔设置；所述平行光管用于将入射光线转换成平行光束照射于聚焦透镜上；所述聚焦透镜用于将所述的平行光束聚焦转换成聚焦光束后其焦点照射于标准球体外表面上；所述标准球体作为测量基准，置于缓慢旋转的精密转台(1)上，用于将所述的聚焦光束反射后转换成反射光线再经聚焦透镜照射于平行光管内的探测器(5)上；由反射光线的中心线与入射光线的中心线之间的位置变化差来测量精密转台的跳动量。