[发明专利]辐照后互补金属氧化物半导体光子转移曲线和转换增益的测试方法

摘要

本发明涉及一种辐照后互补金属氧化物半导体光子转移曲线和转换增益的测试方法，该方法涉及装置是由静电试验平台、积分球光源、三维样品调整台、样品测试板、互补金属氧化物半导体样品、直流电源和计算机组成，通过调整积分球光源的辐照度和测试软件的积分时间，使两者的乘积为互补金属氧化物半导体的饱和输出，并计算辐照后暗场的平均灰度值和相应的灰度值的时域方差。在亮场条件下，计算辐照后亮场的平均灰度值和相应的灰度值的时域方差。用辐照后亮场数据减掉相同积分时间的辐照后暗场数据，得到辐照后平均灰度值的差值及灰度值时域方差的差值，分别以其作为横、纵坐标绘制出辐照后正确的光子转移曲线，这曲线的线性部分的拟合斜率即为辐照后正确的转换增益。

主权项

1.一种辐照后互补金属氧化物半导体光子转移曲线和转换增益的测试方法，其特征在于，该方法涉及装置是由静电试验平台、积分球光源、三维样品调整台、样品测试板、互补金属氧化物半导体样品、直流电源和计算机组成，在静电试验平台（1）上分别设有积分球光源（2）和三维样品调整台（3），在三维样品调整台（3）上固定有样品测试板（4），在样品测试板（4）上放置互补金属氧化物半导体样品（5），样品测试板（4）与直流电源（6）连接，静电试验平台（1）与计算机（7）连接，具体操作按下列步骤进行：a、将经过辐照后的互补金属氧化物半导体样品（5）固定在样品测试板（4）上，再将样品测试板（4）分别与直流电源（6）和计算机（7）相连，开始进行暗场测试，暗场测试时需关闭积分球光源（2），并同时关闭测试室中其他照明光源，并用不透光的黑盒罩盖住互补金属氧化物半导体样品（5）；b、在计算机（7）中调整积分球光源（2）的辐照度和测试软件的积分时间，使二者的乘积为辐照前的互补金属氧化物样品（5）的饱和输出；c、暗场条件下，在步骤b设置的积分时间范围内等间隔取15个点，每个积分时间下由图像传感器采20帧2048×2040的灰度图像，通过测试软件获得20组2048×2040的灰度值矩阵，计算辐照后所有像素位置的灰度值的平均值和辐照后所有像素位置的灰度值方差的平均值；d、亮场条件下：打开积分球光源（2），并保持测试室中其他照明光源关闭，在步骤b设置的积分时间范围内等间隔取15个点，每个积分时间下由图像传感器采20帧2048×2040的灰度图像，通过测试软件可以获得20组2048×2040的灰度值矩阵，计算辐照后亮场条件下所有像素位置的灰度值的平均值和辐照后亮场所有像素位置的灰度值方差的平均值；e、用辐照后亮场的数据减掉相同积分时间的暗场的数据，得到平均灰度值的差值及灰度值时域方差的差值，再分别以其作为横、纵坐标，绘制辐照后光子转移曲线；取光子转移曲线线性部分的拟合斜率即为辐照后的转换增益K。