[发明专利]一种光刻胶及其应用方法在审
| 申请号： | 201710071305.5 | 申请日： | 2017-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN106773533A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 陶虎;秦楠;姜建娟;夏小霞;钱志刚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所31219 | 代理人： | 唐棉棉 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光刻胶及其应用方法，所述光刻胶为基因重组蜘蛛丝蛋白。与传统的光刻胶相比，基因重组蜘蛛丝蛋白光刻胶具有生物相容性好、力学性能优异、抗刻蚀选择性好、易功能化、可控降解等一系列突出的优势。本发明的光刻胶在使用过程中，仅以水作为溶剂和显影液，最大限度保证了加工工艺的兼容性和环境友好性；另外，通过改变基因重组蜘蛛丝蛋白的交联程度，可以实现“正负两用”，既可以作正胶，亦可以作负胶；联合不同加工方法，可实现“从上而下，从下而上”复合式加工，制备多维度、跨尺度生物微纳结构，具有较好的应用开发前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 及其 应用 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻胶，其特征在于，所述光刻胶为基因重组蜘蛛丝蛋白。
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