[发明专利]一种光阻涂布装置及喷嘴有效
| 申请号： | 201710071174.0 | 申请日： | 2017-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN106938222B | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 何恒忠 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B05B1/00 | 分类号： | B05B1/00;B05B1/30;G03F7/16 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光阻涂布装置及喷嘴，所述喷嘴包括内部形成有一空腔的喷嘴本体，所述空腔设置有注入孔、排气孔以及排出孔；所述空腔包括顶部、底部以及位于所述顶部和所述底部之间的侧部，其中所述排气孔位于所述空腔的顶部，用于将所述空腔内的气体排出，所述注入孔位于所述空腔的侧部且靠近所述空腔的底部，或者所述注入孔位于所述空腔的底部，用于注入光阻液。通过上述方式，本发明能够将喷嘴内的空气尽可能地排出，能够减少因喷嘴内的气泡而造成产品不良的现象，提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光阻涂布 装置 喷嘴 | ||
【主权项】：
1.一种用于光阻涂布的喷嘴，其特征在于，包括内部形成有一空腔的喷嘴本体，所述空腔设置有注入孔和排气孔；所述空腔包括顶部、底部以及位于所述顶部和所述底部之间的侧部，其中所述排气孔位于所述空腔的顶部，用于将所述空腔内的气体排出，所述注入孔位于所述空腔的侧部且靠近所述空腔的底部，用于注入光阻液；其中所述注入孔的数量为二，两个所述注入孔相对设置；所述喷嘴还包括控制模块、开关和光阻液供给管路；所述光阻液供给管路的一端与其中一个所述注入孔连接，另一端连接至光阻液供给装置，所述开关设置在所述光阻液供给管路中，所述控制模块与所述开关连接，用于间隔预定时间控制所述开关打开，以导通所述光阻液供给管路。
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