[发明专利]一种半导体气体传感器动态检测系统

摘要

本发明属于气体检测技术领域，具体为一种半导体气体传感器动态检测系统。本发明检测系统包括仪器硬件和计算机；硬件包括气体腔室、控制电路、数据采集卡、监控与操作面板。气体腔室内含传感器待测样品插槽和液体蒸发板，控制电路与数据采集设备提供测试、加热电压，实时采集传感器样品电流、电阻数值并通过计算匹配合适阻值的负载电阻，从而提高测量的准确度；监控与操作面板实现传感器样品温度、测试电压的实时显示和调整。计算机实时显示传感器电阻电流及其变化、手动或自动切换负载电阻、计算传感器灵敏度以及保存和调用测试数据。本发明实现了气体传感器对各种各浓度气体、液体蒸汽的动态响应测试，与同类其他测试系统相比大大提高了测试精度和准确度。

主权项

一种半导体气体传感器动态检测系统，其特征在于，该系统包括仪器硬件和计算机，仪器硬件包括四个主要部分：气体腔室，主控制电路板，数据采集卡，监控与操作面板；其中：所述气体腔室，设有进气接口与出气接口，分别用于外接配气源和/或后续气体产物分析仪器等；气体腔室内设置有蒸发板、风扇和样品插槽，蒸发板用于引入挥发性液体氛围，风扇用于保持腔体内气体均匀，样品插槽用于接插传感器样品，插槽内设有传感器接线端和加热接线端；所述监控与操作面板设有：用于调节样品加热功率的模块化脉宽调制控制器，用于控制气体腔室内蒸发板的开关按钮、控制风扇的开关按钮，以及控制仪器电源的开关按钮；脉宽调制控制器包括数显管和调节电位器；所述主控制电路板包括：用于为电路各区域提供不同电压供电的电源模块，用于连接监控与操作面板上的脉宽调制控制器和各个开关按钮的面板接口，用于连接气体腔室中的蒸发板、风扇和样品插槽的腔室接口，由二级放大电路和数控电阻切换电路组成的信号调理模块，用于连接数据采集卡的数据采集卡接口；所述数据采集卡用于实时采集传感器样品电流、电阻数值；数据采集卡获得的数值传输给计算机连接。