[发明专利]一种三维微纳结构器件的制备装置及方法有效
| 申请号： | 201710063600.6 | 申请日： | 2017-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN106801248B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 任山;孟嘉欣;洪澜;孟跃中;肖敏;王拴紧;韩冬梅 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | C25D19/00 | 分类号： | C25D19/00;C25D3/02;C25D5/04;C25D21/12 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 陈燕娴 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三维微纳结构器件的制备装置及方法，所述装置包括微型电镀管、容器、待镀三维微纳结构生长的衬底、三轴移动装置、电源以及控制系统；所述微型电镀管内装有电镀液，所述容器内装有与电镀液不相溶的液体，所述衬底放置在容器内，所述电镀液为待镀三维微纳结构器件的电镀液，所述微型电镀管浸入在容器内的液体中；所述电镀液和衬底分别与电源连接，通过电镀液在衬底上实现三维微纳结构的电镀生长；所述三轴移动装置与控制系统连接，用于控制微型电镀管与衬底之间的相对位置以及移动速度。本发明可以有效限制电镀液在特定的空间范围，保持非常好的定域性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三维 结构 器件 制备 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种三维微纳结构器件的制备装置，其特征在于：包括微型电镀管、容器、待镀三维微纳结构器件生长的衬底、三轴移动装置、电源以及控制系统；所述微型电镀管内装有电镀液，所述容器内装有与电镀液不相溶的液体，所述衬底放置在容器内，所述电镀液为待镀三维微纳结构器件的电镀液，所述微型电镀管浸入在容器内的液体中；所述电镀液和衬底分别与电源连接，通过微型电镀管中的电镀液在衬底上实现三维微纳结构器件的电镀；所述三轴移动装置与控制系统连接，用于控制微型电镀管与衬底之间的相对位置以及移动速度。
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