[发明专利]一种多孔SiCO基一氧化氮传感器有效
| 申请号： | 201710052298.4 | 申请日： | 2017-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN106802313B | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 廖宁波;郭志;张淼 | 申请（专利权）人： | 温州大学 |
| 主分类号： | G01N27/30 | 分类号： | G01N27/30 |
| 代理公司： | 杭州万合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33294 | 代理人： | 余冬 |
| 地址： | 325035 浙江省温州市瓯海经济*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多孔SiCO基一氧化氮传感器，包括单晶硅基板，单晶硅基板上依次设有SiO2薄膜层、SiBCO薄膜层和SiCO薄膜层，SiCO薄膜层上经SiAlCO薄膜层设有电极。本发明是通过气敏特性和力学性质的梯度设计，提出一种具有优异力学可靠性的多层气敏薄膜体系；采用磁控溅射方法制备薄膜体系具有附着性好、成本低、成份可控和低温等优点，而化学腐蚀法制备SiCO表面多孔结构具有过程简单快捷、原料丰富廉价、纳米形貌可控等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多孔 sico 一氧化氮 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种多孔SiCO基一氧化氮传感器，其特征在于：包括单晶硅基板，单晶硅基板上依次设有SiO2薄膜层、SiBCO薄膜层和SiCO薄膜层，SiCO薄膜层上经SiAlCO薄膜层设有电极。
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