[发明专利]一种MSM光电检测装置及其驱动方法、X射线探测器

摘要

本发明提供一种MSM光电检测装置及其驱动方法、X射线探测器，涉及光电探测技术领域，用于提升MSM光电检测装置的信噪比。该装置包括包括多个检测单元，任一检测单元包括至少一个第一MSM结构、至少一个第二MSM结构、第一控制单元、第二控制单元、第三控制单元、阈值比较单元以及储能单元；第一控制单元用于控制输出/复位信号端与第一节点导通或断开；第二控制单元用于控制第一节点与第二MSM结构导通或断开；阈值比较单元用于输出导通控制信号或关断控制信号；第三控制单元用于在阈值比较单元输出的控制信号的控制下将第一节点与第二MSM结构导通或断开；储能单元用于存储电荷。本发明用于MSM光电检测装置的制造。

主权项

一种MSM光电检测装置，其特征在于，包括多个检测单元，任一检测单元包括：至少一个第一MSM结构、至少一个第二MSM结构、第一控制单元、第二控制单元、第三控制单元、阈值比较单元以及储能单元；所述第一MSM结构的第一金属层连接所述第一节点，所述第一MSM结构的第二金属层连接第一电平端；所述第二MSM结构的第一金属层连接第二控制单元以及所述第三控制单元，所述第二MSM结构的第二金属层连接第一电平端；所述第一控制单元连接输出/复位信号端、第一控制信号端以及所述第一节点，用于在所述第一控制信号端的第一控制信号的控制下将所述输出/复位信号端与所述第一节点导通或断开；所述第二控制单元还连接第二控制信号端和所述第一节点，用于在所述第二控制信号端的第二控制信号的控制下将所述第一节点与所述第二MSM结构的第一金属层导通或断开；所述阈值比较单元连接所述输出/复位信号端和第三控制信号端，用在所述输出/复位信号端的电压大于阈值电压时在第三控制信号端输出导通控制信号，在所述输出/复位信号端输出的电压小于或等于阈值电压时在第三控制信号端输出关断控制信号；所述第三控制单元还连接所述三控制信号端和所述第一节点，用于在所述第三控制信号端输出的导通控制信号的控制下将所述第一节点与所述第二MSM结构的第一金属层导通，或者在所述第三控制信号端输出的关断控制信号的控制下将所述第一节点与所述第二MSM结构的第一金属层断开；所述储能单元连接所述第一节点以及所述第一电平端，用于存储电荷。