[发明专利]基于变角度无透镜傅里叶数字全息的物体三维形貌测量装置及方法在审
申请号: | 201710044424.1 | 申请日: | 2017-01-21 |
公开(公告)号: | CN106871811A | 公开(公告)日: | 2017-06-20 |
发明(设计)人: | 贾书海;董君;江超 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司61200 | 代理人: | 徐文权 |
地址: | 710049 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于变角度无透镜傅里叶数字全息的物体三维形貌测量装置及方法,包括激光器,激光器通过光纤连接光纤分束器,光纤分束器分出两路光,一路作为物光,另一路作为参考光,物光路光纤的输出端放置于准直透镜的焦点上,参考光路光纤的输出端、分束棱镜以及CCD依次沿同一轴线布置,在垂直该轴线的方向上,待测物体与分束棱镜沿同一直线放置,物光光路通过旋转平台上的平面反射镜反射后照射待测物体,待测物体的反射光通过分束棱镜射入CCD,CCD和旋转平台均连接计算机控制和数据处理终端,通过傅里叶方法解调物光场相位,无需相移装置,减少了测量时间且降低了系统的复杂度,利用不同角度下物光场的干涉相位,最终由搜峰算法逐点解调出物体的高度分布,避免了解包裹过程。本装置测量精度高、时间短、能够适应复杂非连续物体。 | ||
搜索关键词: | 基于 角度 透镜 傅里叶 数字 全息 物体 三维 形貌 测量 装置 方法 | ||
【主权项】:
基于变角度无透镜傅里叶数字全息的物体三维形貌测量装置,其特征在于,包括激光器(1),激光器(1)通过光纤(2)连接光纤分束器(3),光纤分束器(3)分出两路光,一路作为物光,另一路作为参考光,物光路光纤的输出端放置于准直透镜(4)的焦点上,参考光路光纤的输出端、分束棱镜(5)以及CCD(6)依次沿同一轴线布置,在垂直该轴线的方向上,待测物体(9)与分束棱镜(5)沿同一直线放置,物光光路通过旋转平台(7)上的平面反射镜(8)反射后照射待测物体(9),待测物体(9)的反射光通过分束棱镜(5)射入CCD(6),CCD(6)和旋转平台(7)均连接计算机控制和数据处理终端(10)。
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