[发明专利]激光稳定能量清洁装置及方法

摘要

激光稳定能量清洁装置及方法，该装置包括一激光模块、一激光光束调控模块、一光路传导模块与一具有开口的吸嘴。激光模块提供一激光光束。激光光束调控模块调整激光光束为一准直激光光束，并依据试片的清洁位置补偿准直激光光束所需的激光能量以形成一补偿激光光束。光路传导模块传导补偿激光光束。补偿激光光束通过吸嘴的开口以形成一具有稳定激光能量的稳定激光光束，进而将稳定激光光束对应至试片的清洁位置以清洁试片。

主权项

一种激光稳定能量清洁装置，用于清洁试片，其特征在于，该装置包括：激光模块，其提供激光光束；激光光束调控模块，其调整该激光模块所提供的该激光光束为准直激光光束，并依据该试片的清洁位置补偿该准直激光光束所需的激光能量以形成补偿激光光束；光路传导模块，其传导该激光光束调控模块所补偿的该补偿激光光束；以及吸嘴，其具有开口，且该光路传导模块所传导的该补偿激光光束通过该吸嘴的该开口以形成具有稳定激光能量的稳定激光光束，进而将该稳定激光光束对应至该试片的清洁位置以清洁该试片。