[发明专利]光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品制造方法在审
| 申请号： | 201710029635.8 | 申请日： | 2017-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN106980177A | 公开（公告）日： | 2017-07-25 |
| 发明（设计）人： | 崔长植 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司11293 | 代理人： | 迟军 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品制造方法。本发明减小了当镜的形状变形时镜上产生的温度分布。光学装置包括镜，具有反射面和与所述反射面的相反侧的背面；底座；固定部件，固定于所述背面的一部分，以将所述镜固定在所述底座上；以及多个致动器，分别向所述背面施加力以使所述反射面的形状变化。其中，所述多个致动器包括多个第一致动器，分别向所述背面中的第一区域施加力，所述第一区域包围由所述固定部件固定的所述镜的固定部；以及多个第二致动器，分别向所述背面中的、包围所述第一区域的第二区域施加力。所述第一致动器的推力生成的效率比所述第二致动器的推力生成的效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 装置 投影 光学系统 曝光 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种光学装置，所述光学装置包括：镜，具有反射面和与所述反射面相反侧的背面；底座；固定部件，固定于所述背面的一部分，以将所述镜固定在所述底座上；以及多个致动器，分别向所述背面施加力以使所述反射面的形状变化，其中，所述多个致动器包括：多个第一致动器，分别向所述背面中的第一区域施加力，所述第一区域包围由所述固定部件固定的所述镜的固定部；以及多个第二致动器，分别向所述背面中的、包围所述第一区域的第二区域施加力，所述第一致动器的推力生成的效率比所述第二致动器的推力生成的效率高。
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