[发明专利]光学透镜中心厚度的非接触式测量装置和测量方法有效

专利信息
申请号: 201710029634.3 申请日: 2017-01-16
公开(公告)号: CN106840001B 公开(公告)日: 2019-02-01
发明(设计)人: 杨宝喜;金超群;胡小邦;张方;马健;黄惠杰 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 201800 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种光学透镜中心厚度非接触式测量装置和测量方法,装置的构成包括低相干光干涉测量系统、主控计算机、图像传感器、准直器、分光镜、第一透镜、第二透镜、圆柱体自定心夹持架、二维水平调节台、二维连体平移台、第一平面镜、第二平面镜、第一二维调整架、第二二维调整架、安装架和支撑面板。本发明采用反射式中心偏调节方法,可实现透镜光轴与测量系统光轴的快速共轴调节,利用两个平面镜组成的腔式结构,可对未知材料折射率的透镜中心厚度进行非接触式的精确测量。
搜索关键词: 光学 透镜 中心 厚度 接触 测量 装置 测量方法
【主权项】:
1.一种光学透镜中心厚度非接触式测量装置,其特征在于其构成包括低相干光干涉测量系统(1)、主控制计算机(2)、图像传感器(3)、准直器(4)、第一透镜(5)、第二透镜(6)、分光镜(7)、圆柱体自定心夹持架(8)、二维水平调节台(9)、二维连体平移台(10)、第一平面镜(11)、第二平面镜(12)、第一二维调整架(13)、第二二维调整架(14)、安装架(15)和支撑面板(16),上述部件的位置关系如下:所述的准直器(4)位于所述的分光镜(7)的右侧,沿该分光镜(7)的轴向从上到下依次是图像传感器(3)、第二透镜(6)、分光镜(7)、第一透镜(5)、第一平面镜(11)、圆柱体自定心夹持架(8)、二维水平调节台(9)、二维连体平移台(10)、支撑面板(16)和第二平面镜(12),所述的第一平面镜(11)和第二平面镜(12)分别安置在所述的第一二维调整架(13)和第二二维调整架(14)上,所述的第一二维调整架(13)、支撑面板(16)和第二二维调整架(14)从上到下安装在安装架(15)上;所述的低相干光干涉测量系统(1)通过光纤与所述的准直器(4)连接;所述的主控制计算机(2)分别通过数据线与所述的低相干光干涉测量系统(1)和图像传感器(3)相连接。
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