[发明专利]改进离子转移管件流量和抽吸系统负载有效
申请号: | 201710018302.5 | 申请日: | 2017-01-10 |
公开(公告)号: | CN106992109B | 公开(公告)日: | 2018-11-30 |
发明(设计)人: | S·T·夸姆比;E·B·麦克考雷;J·梅兹 | 申请(专利权)人: | 萨默费尼根有限公司 |
主分类号: | H01J49/26 | 分类号: | H01J49/26;H01J49/24;H01J49/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 沙永生;乐洪咏 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种质谱仪系统可包含离子源、真空腔室;所述真空腔室内的质量分析仪、所述离子源与所述真空腔室之间的转移管件、转移管件加热器,和真空泵。所述质谱仪系统可经配置以响应于接收转移管件调换指令而减小所述真空泵的泵速;将所述转移管件的所述温度降低到低于第一阈值;当所述转移管件被第二转移管件替换时在所述减小的泵速下操作所述真空泵;将所述第二转移管件加热到高于抽气温度的温度;以及在所述第二转移管件的所述温度超出第二阈值之后增加所述真空泵的所述泵速。 | ||
搜索关键词: | 改进 离子 转移 流量 抽吸 系统 负载 | ||
【主权项】:
1.一种质谱仪系统,其包括:离子源,所述离子源经配置以从样本产生离子;真空腔室;所述真空腔室内的质量分析仪,所述质量分析仪经配置以确定来自所述样本的离子的质荷比;所述离子源与所述真空腔室之间的第一转移管件,所述第一转移管件经配置以允许所述离子从所述离子源通过到所述真空腔室;转移管件加热器,其经配置以加热所述第一转移管件;真空泵,其经配置以将所述真空腔室维持在低压处;计算机可读存储媒体,其具有用于执行以下步骤的程序指令:控制所述第一转移管件加热器以将所述第一转移管件维持在第一温度,且控制所述真空泵以将所述真空腔室维持在操作压力处;响应于接收转移管件调换指令而减小所述真空泵的泵速;将所述第一转移管件的所述第一温度降低到低于第一阈值;当所述第一转移管件被第二转移管件替换时在减小的泵速下操作所述真空泵以将所述真空腔室维持在大气压与所述操作压力之间的压力处;将第二转移管件加热到高于抽气温度的温度;以及在所述第二转移管件的所述温度超出所述抽气温度之后增加所述真空泵的所述泵速以使所述质量分析仪返回到所述操作压力。
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