[发明专利]一种超声波指纹采集器件及其制备方法

摘要

本发明提供了一种超声波指纹采集器件及其制备方法，该器件包括由下至上依次连接的基底、超声波阵列层及封装层；超声波阵列层成型在基底的顶面，且超声波阵列层与位于器件外部的基板电连接；封装层成型在超声波阵列层上。该方法选取的基底的两面形成绝缘层，在位于基底顶面的绝缘层上依次形成黏附层、下电极及压电层，在经图形化处理后的压电层上形成上电极，并形成绝缘钝化层，在绝缘钝化层上刻蚀得到窗口，在位于基底的底面的绝缘层上形成振动腔，在器件表面上依次形成耦合层及刚性保护层。本发明的适用性强，能够进行活体指纹鉴别、同时能够可靠且有效的识别干湿手指及含有污垢的手指，提高了指纹识别的效率及准确性。

主权项

一种超声波指纹采集器件，其特征在于，所述器件包括：由下至上依次连接的基底、超声波阵列层及封装层；所述超声波阵列层成型在所述基底的顶面，且所述超声波阵列层与位于所述器件外部的基板电连接；所述封装层成型在所述超声波阵列层上，且所述封装层包括：用于贴合手指指纹的刚性保护层，以及，成型在所述刚性保护层与所述超声波阵列层之间的耦合层；所述器件还包括：成型在所述基底与超声波阵列层之间的上绝缘层、成型在所述基底底部的下绝缘层、以及部分成型在所述超声波阵列层与所述封装层之间的绝缘钝化层，且上绝缘层、下绝缘层及绝缘钝化层均为二氧化硅层。