[发明专利]一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器及其制备方法

摘要

本发明公开一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器及其制备方法，具体是指利用气相沉积法制备氧化镓微米带材料，将其作为日盲紫外光的光敏材料，将氧化镓微米带材料转移到柔性衬底上，再结合掩模和真空镀膜方法在氧化镓微米带的两端制备金属电极，最终制备获得柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器。本发明首次利用柔性的氧化镓微米带材料结合柔性衬底制备出柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器，该器件具有针对日盲紫外光的特征响应和柔性可弯曲的特点。柔性探测器件具有重复弯曲可恢复性，可以应用于可穿戴探测设备、弯曲屏交互设备、仿生组织等领域；可以大幅提高日盲光电探测系统的便携性、设置及设计的自由度。

主权项

一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器的制备方法，其特征在于包括如下步骤：1）利用气相沉积法制备氧化镓微米带材料；2）将氧化镓微米带材料转移到柔性衬底上充当日盲紫外光的光敏材料；3）再结合掩模和真空镀膜方法在已转移到柔性衬底上氧化镓微米带的两端制备金属电极，最终制备获得柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器。