[发明专利]工件研磨方法和研磨垫的修整方法

摘要

本发明提供工件研磨方法和研磨垫的修整方法。该工件研磨方法能够正确地把握研磨垫的表面状态并能够进行高精度的修整从而能够进行高精度的研磨。本发明的工件研磨方法的特征在于，具备下述工序：预先取得相关数据的工序，其中，所述相关数据表示以多个阶段的修整条件进行修整时的研磨垫的表面性状、与利用以该多个阶段各自的修整条件进行了修整后的研磨垫来研磨工件时的工件的研磨效果之间的相关关系；修整工序，根据相关数据推算出能够实现目标研磨效果的假想修整条件，并以该推算出的假想修整条件进行研磨垫的修整；对工件进行研磨的研磨工序；对工件研磨后的研磨垫进行清洗的工序；以及对该清洗后的研磨垫的表面性状进行计测的工序。

主权项

一种工件研磨方法，将工件压接在旋转的平台的研磨垫上，一边对所述研磨垫供给研磨液一边研磨工件的表面，然后进行修整，在所述修整中，使具有修整磨具的修整头在所述研磨垫上往复移动而利用所述修整磨具来调整所述研磨垫的表面状态，其特征在于，所述工件研磨方法具备下述工序：预先取得相关数据的工序，其中，所述相关数据表示以多个阶段的修整条件进行修整时的所述研磨垫的表面性状、与利用以该多个阶段各自的修整条件进行了修整后的研磨垫来研磨工件时的工件的研磨效果之间的相关关系；修整工序，根据所述相关数据推算出能够实现目标研磨效果的假想修整条件，并以该推算出的假想修整条件来进行所述研磨垫的修整；对工件进行研磨的研磨工序；对工件研磨后的所述研磨垫进行清洗的工序；以及对该清洗后的所述研磨垫的表面性状进行计测的工序，如果计测出的所述研磨垫的表面性状是表示所要设定的表面性状的设定数据内的表面性状，则转移到工件的研磨工序，在结果是表面性状比所述设定数据差的情况下，转移到基于所述假想修整条件的再修整工序或者更换所述研磨垫。