[发明专利]扫描型探针显微镜

摘要

在利用探针(16)以正向对试样(10)上的同一区域进行扫描并且获取跟踪图像数据时和以反向对该试样(10)上的同一区域进行扫描并且获取回扫图像数据时，偏差信息存储部(32)存储由偏差检测部(20)检测的偏差。该偏差表示该时间点的探针‑试样间的距离与该距离的目标值之间的偏差。因此图像数据选择部(31)针对每个测量点将正向扫描时的偏差与反向扫描时的偏差进行比较，选择偏差较小的扫描时获取到的图像数据，作为选择图像数据保存在图像数据存储部(33)的存储区域(33c)中。图像形成部(30)基于该选择图像数据生成试样表面形状图像并且显示在显示部(5)中。由此，即使在试样(10)上具有陡的凹凸并且探针‑试样间距离的反馈控制产生了跟踪延迟、紊乱的情况下，也能够显示接近实际的试样表面形状的准确的图像。

主权项

1.一种扫描型探针显微镜，具备设置有探针的悬臂以及检测该悬臂的位移的位移检测部，在使所述探针接近试样的表面的状态下，基于由所述位移检测部检测出的位移，对该探针与试样之间的分离间隔进行反馈控制以使该探针与试样之间的相互作用固定，并且通过利用该探针在该试样上的测量对象区域内进行扫描来获取该测量对象区域的表面形状图像，所述扫描型探针显微镜的特征在于，具备：a)数据获取部，其使所述探针与试样之间的相对位置移动使得以正向和反向对所述试样上的测量对象区域内的规定的一维区域进行扫描，分别获取正向扫描时的图像数据和反向扫描时的图像数据；b)参照信息获取部，在由所述数据获取部获取图像数据时，所述参照信息获取部获取在所述反馈控制的控制循环中基于所述位移检测部得到的位移量、该位移量与该位移量的目标值之间的偏差以及基于该位移量得到的反映了试样表面的物性信息的信号值中的至少任一个来作为参照信息；以及c)图像数据选择处理部，其通过针对所述测量对象区域内的各测量点执行以下处理来求出与该测量对象区域对应的图像数据：针对各测量点将在正向扫描时得到的所述参照信息与在反向扫描时得到的参照信息进行比较，选择该参照信息所表示的值较小的扫描时的图像数据。