[发明专利]测量衬底及测量方法在审
| 申请号： | 201680080037.7 | 申请日： | 2016-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN108604064A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | P·J·尼弗斯;斯通扬·尼蒂安沃夫;R·H·M·J·布洛克斯;J·P·M·B·沃缪伦;J·P·M·德拉罗塞特;T·S·M·劳伦特;K·A·A·梅金娃 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/67;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种用于测量关于用于在设备的操作期间处理生产衬底的所述设备中的条件的测量衬底，该测量衬底包括：主体，具有与所述设备相兼容的尺寸；内嵌在所述主体中的多个传感器模块，每一传感器模块包括：传感器，配置成产生模拟测量信号；模数转换器，用以从该模拟测量信号产生数字测量信息；和模块控制器，配置成输出所述数字测量信息；和中心控制模块，配置成接收来自模块控制器中的每一个的所述数字测量信息且将该数字测量信息通信至外部装置。 | ||
| 搜索关键词： | 数字测量 测量 衬底 模拟测量信号 传感器模块 模块控制器 配置 中心控制模块 模数转换器 操作期间 外部装置 信息通信 传感器 内嵌 兼容 输出 生产 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量关于用于在设备的操作期间处理生产衬底的所述设备中的条件的测量衬底，所述测量衬底包括：主体，具有与生产衬底的尺寸类似的尺寸，使得所述测量衬底与所述设备兼容；位于所述主体中的多个传感器模块，每一传感器模块包括：传感器，配置成产生模拟测量信号，所述传感器包括至少温度传感器或应变传感器；模数转换器，配置成从所述模拟测量信号产生数字测量信息；和模块控制器，配置成输出所述数字测量信息；和中心控制模块，配置成接收来自所述模块控制器中的每一个的所述数字测量信息且将所述数字测量信息通信至外部装置。
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