[发明专利]使用激光束的气体分析装置以及气体分析方法有效
| 申请号： | 201680077813.8 | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN108463710B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 出口祥啓 | 申请（专利权）人： | 智能激光等离子体系统株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/27 | 分类号： | G01N21/27;G01N21/3504;G01N21/39 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 王艳波;姚开丽 |
| 地址： | 日本徳岛县*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
气体分析装置具备：激光源，输出激光束；照射部，使来自激光源的激光束从多个方向照射包含有测量对象气体的测量区域；多个受光器，接收透射测量区域的激光束，输出与接收的激光束的强度对应的电信号；以及分析装置，基于从各受光器输出的电信号，对测量对象气体的物理状态进行分析。分析装置至少在测量区域中设定表示测量对象气体的物理状态(浓度、温度等)的函数(例如二维多项式f(X，Y))，使用根据从受光器输出的电信号得到测量值，确定函数中包含的各项系数(a |
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| 搜索关键词： | 使用 激光束 气体 分析 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种气体分析装置，分析二维或者三维区域中的测量对象气体的物理状态，其特征在于，具备：激光源，输出激光束；激光控制部，控制所述激光源；分波器，将来自所述激光源的激光束分支为多个光路；照射部，使分支的激光束从多个方向照射包含有测量对象气体的测量区域；多个受光器，接收透射所述测量区域的激光束，输出与接收的激光束的强度对应的电信号；以及分析装置，基于从各受光器输出的电信号，对测量对象气体的物理状态进行分析，所述分析装置至少在所述测量区域中设定表示所述测量对象气体的物理状态的函数，使用根据从所述受光器输出电信号得到的测量值，确定所述函数中包含的各项系数，从而测量所述测量对象气体的物理状态。
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