[发明专利]用于使用微波能量处理介电材料的方法和装置有效
申请号: | 201680075412.9 | 申请日: | 2016-12-19 |
公开(公告)号: | CN108367460B | 公开(公告)日: | 2021-01-05 |
发明(设计)人: | 陈星;D.林;K.W.温策尔;I.波基多夫 | 申请(专利权)人: | MKS仪器有限公司 |
主分类号: | B29B13/02 | 分类号: | B29B13/02;B29C35/08;B29C49/64;H05B6/64 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 邹松青;谭祐祥 |
地址: | 美国麻*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了用于加热介电预制件材料的方法和系统。示例性方法包括:沿微波腔体的纵向轴线将预制件材料(102)插入到微波腔体(104)中,并且向微波腔体(104)供给具有与沿微波腔体(104)的纵向轴线(z)的轴向波长相对应的频率的微波功率。所述轴向波长大于预制件材料(102)沿纵向轴线(z)的长度。所述方法包括通过微波功率加热微波腔体(104)内的预制件材料(102),并且确定在预制件材料表面上的一个或多个位置处的预制件材料的温度。该方法还包括基于预制件材料(102)的温度来调节微波频率,以至少沿纵向轴线(z)在预制件材料的侧壁上实现大体上均匀的加热。 | ||
搜索关键词: | 用于 使用 微波 能量 处理 材料 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种用于加热介电预制件材料的方法,所述方法包括:沿微波腔体的纵向轴线将所述预制件材料插入到所述微波腔体中;向所述微波腔体供给具有这样的频率的微波功率,所述频率对应于沿所述微波腔体的所述纵向轴线的轴向波长,所述轴向波长大于所述预制件材料沿所述纵向轴线的长度;通过所述微波功率加热所述微波腔体内的所述预制件材料;确定在所述预制件材料的表面上的一个或多个位置处的预制件材料的温度;以及基于所述预制件材料的温度来调节微波频率,以通过如下方式至少在所述预制件材料的侧壁上沿所述纵向轴线实现大体上均匀的加热:保持所述微波功率的轴向波长大于所述预制件材料的长度,这对应于沿所述微波腔体的纵向轴线的电场大体上均匀。
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