[发明专利]具有声学振动的剪切模式和纵向模式的增强反射的谐振器结构

摘要

一种牢固安装的谐振器结构包括多层声反射器结构和布置在第一电极结构和第二电极结构之间以形成有源区的压电材料层，其中所述声反射器结构提供声学振动的剪切模式和纵向模式的增强反射。所述牢固安装的谐振器结构构造成转换包含纵向分量和剪切分量的声波。所述声反射器结构包括多个顺次布置的差分声阻抗层单元，每个差分声阻抗层单元包括与高声阻抗材料层接触的低声阻抗材料层。对应于纵向响应的第二谐波共振的最小透射率的频率与对应于剪切响应的第三谐波共振的最小透射率的频率基本匹配。

主权项

1.一种牢固安装的谐振器结构，其包括：基材；布置在所述基材之上且包括多个顺次布置的差分声阻抗层单元的声反射器结构，其中所述多个顺次布置的差分声阻抗层单元的每个差分声阻抗层单元包括与高声阻抗材料层接触的低声阻抗材料层；布置在所述声反射器结构的至少一部分之上的至少一个第一电极结构；布置在所述至少一个第一电极结构之上的压电材料层；和布置在所述压电材料层的至少一部分之上的至少一个第二电极结构；其中：所述压电材料层的至少一部分布置在所述至少一个第一电极结构与所述至少一个第二电极结构之间以形成至少一个有源区；所述牢固安装的谐振器结构构造成用于在所述至少一个有源区中转换具有纵向波长λL的声波；每个差分声阻抗层单元的所述低声阻抗材料层的厚度在0.73 λL至0.82 λL范围内，并且每个差分声阻抗层单元的所述高声阻抗材料层的厚度在0.13 λL至0.19 λL范围内。