[发明专利]电容式压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201680071290.6 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN108291845A | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 张波;张旻;张臣雄 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G06F3/044 |
| 代理公司： | 北京龙双利达知识产权代理有限公司 11329 | 代理人： | 时林;毛威 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种电容式压力传感器，包括：第一柔性衬底(101)、第一石墨烯电极板(102)、绝缘介质层(103)、第二石墨烯电极板(104)和第二柔性衬底(105)，其中，该绝缘介质层(103)用于将第一石墨烯电极板(102)和第二石墨烯电极板(104)隔离且保持预定间隔；第一石墨烯电极板(102)和第二石墨烯电极板(104)中分别包括至少一路串联的石墨烯电极，第一石墨烯电极板(102)的至少一路串联的石墨烯电极和第二石墨烯电极板(104)的至少一路串联的石墨烯电极交叉排列，并且该电容式压力传感器的多个电容中的每个电容包括第一石墨烯电极板(102)和第二石墨烯电极板(104)中位于交叉位置的一对相向面对的石墨烯电极。还提供了一种电容式压力传感器的制作方法。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯 电极板 电容式压力传感器 电极 串联 绝缘介质层 衬底 电极交叉 多个电容 交叉位置 预定间隔 电容 相向 制备 隔离 制作 | ||
【主权项】：
PCT国内申请，权利要求书已公开。
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