[发明专利]含直线诱导的裂纹的高灵敏度传感器及其制造方法

摘要

本发明提供了一种具有导电薄膜的高灵敏度传感器，其中导电薄膜含有线性诱导的裂纹。该高灵敏度传感器涉及一种传感器，该传感器是通过在形成于支撑体上的导电薄膜上形成直线诱导的微裂纹来获得，用于通过测量由微裂纹形成的微结合结构中的变化、短路或开口引起的电阻变化，来测量外部张力和压力。另外，这种高灵敏度的导电性裂纹传感器可应用于高精度测量或人造皮肤，并且可以通过使传感器像素化而用作定位检测传感器。因此，该高灵敏度传感器可以有效地用于精确测量的领域，通过人体皮肤等生物测量装置，人体运动测量传感器和显示面板传感器等。

主权项

1.一种高灵敏度传感器，包括：柔性支撑件，所述柔性支撑件具有形成在其中的孔图案；和导电薄膜，所述导电薄膜形成在所述支撑件的至少一个表面上，其中，所述导电薄膜包括线性诱导的裂纹，所述线性诱导的裂纹具有与所述表面的至少一部分相接触并且彼此面对面的裂纹面，其中，所述裂纹面是由形成在所述柔性支撑件上的规则的孔图案线性诱导的，其中，所述高灵敏度传感器通过测量所述裂纹面因外部物理刺激进行移动从而使接触面积变化、或者短路或再接触所引起的电变化，来测量外部刺激。