[发明专利]板弹簧在审
| 申请号： | 201680067399.2 | 申请日： | 2016-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN108698812A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | R·J·利特尔 | 申请（专利权）人： | 韦斯伯技术公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种换能器以及用于处理MEMS换能器的方法。在一方面，所述MEMS换能器包括第一板和第二板。所述MEMS换能器还可以包括大致位于所述第一板和所述第二板之间的弹簧，所述第一弹簧臂和所述第二弹簧臂的尺寸被设计成使得所述第一板和所述第二板之间的垂直挠曲失配相对于在不依赖于所述弹簧的情况下所述第一板和所述第二板之间的垂直挠曲失配有所减少。 | ||
| 搜索关键词： | 第一板 垂直挠曲 弹簧臂 弹簧 板弹簧 换能器 失配 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS换能器，包括：第一板和第二板；以及弹簧，其大致位于所述第一板和所述第二板之间，所述弹簧包括第一弹簧臂和第二弹簧臂，所述第一弹簧臂和所述第二弹簧臂的尺寸被设计成使得所述第一板和所述第二板之间的垂直挠曲失配相对于在不依赖于所述弹簧的情况下所述第一板和所述第二板之间的垂直挠曲失配有所减少。
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