[发明专利]位移检测装置有效
| 申请号: | 201680064578.0 | 申请日: | 2016-11-02 |
| 公开(公告)号: | CN108351195B | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
| 发明(设计)人: | 后藤太辅;赤津伸行;坂元和也 | 申请(专利权)人: | 株式会社阿米泰克 |
| 主分类号: | G01B7/00 | 分类号: | G01B7/00;G01L5/00 |
| 代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 何立波;张天舒 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 提供促进小型化的结构。具有:线圈(11);磁响应部件(12),其配置为与检测对象位置相应地相对于所述线圈进行位移;以及自激振荡电路(13),其组装有所述线圈作为振荡元件,振荡频率根据与所述磁响应部件相对于该线圈的位移相应的该线圈的电感变化而变化。运算部(14)基于所述自激振荡电路的振荡输出信号而生成与振荡频率相应的测量值,作为速度数据(Vd)而求出该测量值的微分值,对该速度数据进行积分而求出位置数据即位移数据(Ld)。通过求解速度数据时的差分运算,能够自动地抵消或减小因温度或者位置检测装置的机械式的安装位置等引起的偏移分量,能够进行高精度的位移检测。 | ||
| 搜索关键词: | 位移 检测 装置 | ||
【主权项】:
1.一种位移检测装置,其具有:线圈;磁响应部件,其配置为与检测对象位置相应地,相对于所述线圈进行位移;自激振荡电路,其组装设置有所述线圈作为振荡元件,振荡频率根据与所述磁响应部件相对于该线圈的位移相应的该线圈的电感变化而变化;以及运算部,其基于所述自激振荡电路的振荡输出信号而生成与振荡频率相应的测量值,作为速度数据而求出该测量值的微分值,对该速度数据进行积分,由此求出位移数据。
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