[发明专利]包括其中每个生成一条线、各条线在宽度方向上偏移的情况下重叠的多个激光模块的激光装置在审
| 申请号： | 201680062429.0 | 申请日： | 2016-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN108136542A | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | B.迪博;E.米蒙;L.卡诺瓦;N.德斯博弗 | 申请（专利权）人： | 法国圣戈班玻璃厂 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;B23K26/067;B23K26/073;B23K26/08;G02B27/09;H01L21/02;H01S5/40;B23K26/352 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 胡莉莉;申屠伟进 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及在没有特别的限制的情况下由多个可并置的激光模块形成的用于对沉积在大宽度的基底上的涂层进行退火的激光装置，其中激光模块生成基本激光线（LA1，LA2），基本激光线（LA1，LA2）在长度方向上相互进行组合以用于形成单条激光线，每一基本线（LA1，LA2）呈现在长度方向上的与一条或两条相邻的基本激光线（LA2，LA1）的重叠（R）；并且至少两条相邻的基本激光线（LA1，LA2）呈现相对于彼此的在宽度方向上的偏移（D），所述偏移（D）小于所述至少两条相邻的基本激光线（LA1，LA2）的宽度之和的一半；所述至少两条相邻的基本激光线（LA1，LA2）的重叠（R）使得在没有偏移（D）的情况下，单条激光线的单位长度功率分布在重叠区域（R）处呈现局部最大值。 | ||
| 搜索关键词： | 激光线 偏移 激光模块 激光装置 单条 单位长度功率 退火 重叠区域 并置 基底 沉积 | ||
【主权项】：
一种激光装置，包括：多个激光模块，每个激光模块生成聚焦在工作平面处的具有长度（L）和宽度（W）的基本激光线；和用于容纳基底的传送部件；其中所述激光模块被定位以使得所生成的基本激光线相互间几乎平行并且组合成单条激光线，每一基本线呈现在长度方向上的与相邻的基本激光线的重叠（R）；并且传送部件允许基底垂直于单条激光线行进；其特征在于，对于至少两条相邻的基本激光线（LA1，LA2）而言，基本激光线呈现在宽度方向上相对于彼此的偏移（D），所述偏移小于所述两条相邻的基本激光线的宽度之和的一半；所述至少两条相邻的基本激光线（LA1，LA2）的重叠（R）使得在没有偏移的情况下，单条激光线的单位长度功率分布在重叠区域处呈现局部最大值。
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