[发明专利]使用增材制造工艺形成先进抛光垫的方法和设备

摘要

本公开的实施例是关于具有可调谐化学特性、材料特性及结构特性的先进抛光垫，及制造该等抛光垫的新方法。根据本公开的一或多个实施例，已发现具有改良特性的抛光垫可由诸如三维(3D)打印工艺之类的增材制造工艺来产生。因此，本公开的实施例可提供具有离散特征及几何形状、由至少两种不同材料形成的先进抛光垫，该等不同材料包括官能性聚合物、官能性寡聚物、反应性稀释剂、加成聚合物前体化合物、催化剂及固化剂。举例而言，该先进抛光垫可通过自动化连续沉积至少一种聚合物前体组成物，继之以至少一个固化步骤而由多个聚合层形成，其中各层可表示至少一种聚合物组成物和/或不同组成物的区域。本公开的实施例进一步提供一种具有可以是互穿型聚合物网状结构的聚合层的抛光垫。

主权项

一种抛光制品，其包括第一抛光元件，该第一抛光元件包括：多个连续形成层，其中该多个连续形成层包括：第一层，其包括：安置于形成有该第一层的表面上的含成孔剂区的第一图案；及含第一结构材料区，其中该含第一结构材料区安置于该表面上并位于该第一图案的邻近放置的含成孔剂区之间；及第二层，其安置于该第一层的表面上，其中该第二层包括：安置于该第一层的该表面上的含成孔剂区的第二图案；及含第二结构材料区，其中该含第二结构材料区安置于该第一层的该表面上并位于该第二图案的邻近放置的含成孔剂区之间。