[发明专利]检测元件在审
申请号: | 201680059153.0 | 申请日: | 2016-09-30 |
公开(公告)号: | CN108140534A | 公开(公告)日: | 2018-06-08 |
发明(设计)人: | 太田浩平;本村知久;高野贵正;中山浩一 | 申请(专利权)人: | 大日本印刷株式会社 |
主分类号: | H01J47/06 | 分类号: | H01J47/06;G01T1/18 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 吴秋明 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种能够得到高信号强度且高S/N比的高分辨率的放射线图像的检测元件。检测元件具有:设置了贯通孔的基板;配置在贯通孔的内部的绝缘层;配置于比绝缘层更靠贯通孔的内侧的贯通电极;设置使贯通电极露出的开口部,且一部分与贯通电极相接的绝缘性的树脂层;配置在贯通电极以及树脂层的上方,通过开口部与贯通电极连接的第一电极;和在树脂层的上方,与第一电极隔开配置的第二电极。 | ||
搜索关键词: | 贯通电极 贯通孔 树脂层 绝缘层 第一电极 开口部 检测 配置 放射线图像 第二电极 高分辨率 绝缘性 配置的 隔开 基板 | ||
【主权项】:
一种检测元件,具有:基板,其设置有贯通孔;绝缘层,其配置在所述贯通孔的内部;贯通电极,其配置于比所述绝缘层更靠所述贯通孔的内侧;绝缘性的树脂层,其设置有使所述贯通电极露出的开口部;第一电极,其配置在所述贯通电极以及所述树脂层的上方,并通过所述开口部与所述贯通电极连接;和第二电极,其在所述树脂层的上方,与所述第一电极隔开配置,所述树脂层的一部分与所述贯通电极相接。
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