[发明专利]包含金属氧化物的材料、其制备方法及其使用方法有效
| 申请号： | 201680057594.7 | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN108139673B | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 姚晖蓉;M·D·拉赫曼;D·麦肯齐;J·赵 | 申请（专利权）人： | 默克专利有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;C09D1/00;C09D5/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 邓毅 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 具有高金属含量的组合物，其包含金属盐溶液、稳定剂和一种或多种任选的添加剂，其中所述金属盐溶液包含金属离子、抗衡离子和溶剂。所述组合物可用于在制造固态和集成电路器件中在基底上形成膜。 | ||
| 搜索关键词： | 包含 金属 氧化物 材料 制备 方法 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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