[发明专利]用于传感器的传感器组件、传感器以及用其制造的测量系统

摘要

本发明涉及传感器组件(11)，其包括具有两个相对的表面(111+,111#)和外边缘段(111a)的变形体(111)以及从表面(111+)延伸到远端并具有左侧的第一侧表面(112+)和右侧的第二侧表面(112#)的传感器叶片(112)。此外，传感器组件(11)还包括过载保护装置(113)，其从边缘段(111a)延伸到远端，能够用于保护变形体(111)防止塑性即不可逆变形的影响，并且具有从传感器叶片以横向距离引导的支撑镫形件(113a)以及由支撑镫形件保持的用于限制传感器叶片(112)的运动的两个止动件(113b,113c)，其中止动件的第一止动件(113b)位于传感器叶片的左侧上，止动件的第二止动件(113c)位于传感器叶片的右侧上。止动件(113b,113c)被定其尺寸并且被布置，使得在它们之间形成的中间空间(113’)仅接纳传感器叶片(112)的子部分(112a)。变形体和传感器叶片还适于被激励以围绕公共静态静止位置执行振荡，并且在这种情况下相对于过载保护装置运动，使得传感器叶片执行使变形体弹性变形的摆动运动，在此期间，子部分(112a)交替地向左，即在朝着止动件(113b)的方向上运动，并且向右，即在朝着第二止动件(113c)的方向上运动。利用这种传感器组件以及与传感器组件联接并用于产生传感器信号的换能器元件(12)形成的传感器或者利用传感器和与传感器连接的测量电子器件形成的测量系统能够用于检测流动流体中的压力波动，以便测量流体的流动参数，所述流体例如具有至少有时400℃的温度和/或至少有时大于140巴的压力的蒸汽，所述传感器信号表示传感器叶片的根据时间而变化的运动和/或变形体的根据时间而变化的变形。

主权项

1.一种用于传感器，尤其是用于记录在流动流体中形成的卡门涡街中的压力波动的传感器，的传感器组件，所述传感器组件包括：-变形体(111)，尤其是膜状和/或盘形变形体(111)，所述变形体(111)具有第一表面(111+)、相对放置的第二表面(111#)--尤其是至少部分平行于所述第一表面(111+)的第二表面(111#)、以及外边缘段(111a)--尤其是环形外边缘段(111a)和/或设有密封表面的外边缘段(111a)；-传感器叶片(112)，所述传感器叶片(112)从所述变形体的所述第一表面(111+)延伸到远端，尤其是板状或楔形的传感器叶片(112)，所述传感器叶片(112)具有左侧的第一侧表面(112+)和右侧的第二侧表面(112#)；-以及过载保护装置(113)，所述过载保护装置(113)从所述变形体(111)的所述边缘段(111a)延伸到远端并且用于保护所述变形体(111)以防止塑性的即不可逆的变形，所述过载保护装置具有围绕所述传感器叶片以横向间隔引导的支撑镫形件(113a)以及由所述支撑镫形件保持的用于限制所述传感器叶片(112)的运动的两个止动件(113b,113c)，其中，所述第一止动件(113b)位于所述传感器叶片的左侧上，所述第二止动件(113c)位于所述传感器叶片的右侧上；-其中，所述止动件(113b,113c)被定其尺寸并且被布置，使得在它们之间形成的中间空间(113’)仅接纳所述传感器叶片(112)的部分(112a)，尤其是所述传感器叶片(112)的位于边缘的部分(112a)，-以及其中，所述变形体(111)和所述传感器叶片(112)适于被激励以围绕共享静态静止位置执行振荡，尤其是受迫振荡，并且在这种情况下以所述传感器叶片执行使所述变形体弹性变形的摆状运动的方式相对于所述过载保护装置(113)运动，在这种情况下，所述传感器叶片(112)的位于所述中间空间(113')内的所述部分(112a)交替地向左和向右运动，向左即在朝所述第一止动件(113b)的方向上，向右即在朝所述第二止动件(113c)的方向上。