[发明专利]用于MEMS扫描镜的机电设计在审
| 申请号： | 201680052734.1 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN108025908A | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | J·加迈特;A·佛提诺斯;N·阿贝勒 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 高见;黄嵩泉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了用于MEMS扫描镜的机电设计。在各实施例中，驱动线圈可位于MEMS镜的反射部分上。在一些实施例中，感测线圈可部分地或完全地位于MEMS镜的外框架部分上。描述了并要求保护其他实施例。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 mems 扫描 机电 设计 | ||
【主权项】：
1.一种装置，包括：反射部分；框架，所述框架被至少部分地设置于所述反射部分周围；驱动线圈，所述驱动线圈用于接收第一电流以响应于所接收的电流而引发所述反射部分绕第一轴的运动；以及感测线圈，所述感测线圈被至少部分地设置于所述驱动线圈周围，所引发的运动用于在所述感测线圈中感应第二电流，所述第二电流用于指示所述反射部分绕所述第一轴的位置。
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