[发明专利]用于汽车应用的双轴超稳健转速传感器

摘要

提出转速传感器，具有衬底、第一转速传感器结构、第二转速传感器结构，衬底具有主延伸平面，第一转速传感器结构用于探测第一转速、第二转速传感器结构用于探测第二转速，第一轴线平行于主延伸平面延伸，第二轴线垂直于主延伸平面延伸，其中，转速传感器包括驱动装置，既用于偏转第一转速传感器结构的至少一个第一结构，以及第一转速传感器结构的至少一个第二结构，而且驱动装置也用于偏转第二转速传感器结构的至少一个第三结构，以及第二转速传感器结构的至少一个第四结构，使得第一结构、第二结构、第三结构以及第四结构能够被激励到机械耦合的振动。

主权项

一种转速传感器(1)，其具有衬底(3)、至少一个第一转速传感器结构(2)和至少一个第二转速传感器结构(4)，所述衬底具有主延伸平面(100)，所述至少一个第一转速传感器结构用于探测所述转速传感器(1)的围绕基本上平行于第一轴线(X)的轴线的第一转速，所述第一轴线平行于所述主延伸平面(100)延伸，所述至少一个第二转速传感器结构用于探测所述转速传感器(1)的围绕基本上平行于第二轴线(Z)的轴线的第二转速，所述第二轴线垂直于所述主延伸平面(100)延伸，其中，所述转速传感器(1)如此包括驱动装置(17)——所述驱动装置既用于偏转所述第一转速传感器结构(2)的能够相对于所述衬底(3)运动的至少一个第一结构(5)以及所述第一转速传感器结构(2)的能够相对于所述衬底(3)并且相对于所述第一结构(5)运动的至少一个第二结构(9)；所述驱动装置也用于偏转所述第二转速传感器结构(4)的能够相对于所述衬底(3)运动的至少一个第三结构(13)以及所述第二转速传感器结构(4)的能够相对于所述衬底(3)并且相对于所述第三结构(13)运动的至少一个第四结构(15)——使得所述第一结构、所述第二结构、所述第三结构和所述第四结构(5、9，13，15)能够被激励到机械耦合的振动，其特征在于，所述第一结构(5)和所述第四结构(15)能够被激励到彼此基本上线性的同相的振动，并且能够被激励到相对于所述第二结构(9)和所述第三结构(13)基本上线性的反相的振动，所述第一结构的振动和所述第四结构的振动分别具有基本上平行于第三轴线(Y)的运动分量，所述第三轴线垂直于所述第一轴线(X)并且垂直于所述第二轴线(Z)，其中，所述转速传感器(1)如此配置，使得作用于所述第一结构(5)的第一力作用以及作用于所述第二结构(9)的相对于所述第一力作用基本上反相的第二力作用能够基于所述第一转速被探测，并且使得作用于所述第三结构(13)的第三力作用以及作用于所述第四结构(15)的相对于所述第三力作用基本上反相的第四力作用能够基于所述第二转速被探测。