[发明专利]电路检查方法以及样品检查装置有效
| 申请号： | 201680046775.X | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN107923939B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 影山晃;奈良安彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;H01J37/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 柯瑞京 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的涉及检测现有的EBAC中难以确定的不良部位所引起的信号。在本发明的一个实施方式中，使至少1根探针接触形成了电路的样品，一边经由探针对通过探针的接触确定的电路提供电力，一边用带电粒子束扫描样品，并经由探针测定被局部地加热的不良的电阻值变化。根据本发明，即使是高电阻不良、埋没于样品内部的不良所引起的信号，也能容易地检测。 | ||
| 搜索关键词： | 电路 检查 方法 以及 样品 装置 | ||
【主权项】：
一种电路检查方法，其特征在于，使至少1根探针接触形成了电路的样品，一边经由所述探针对通过所述探针的接触确定的电路提供电力，一边用带电粒子束扫描所述样品，并经由所述探针测定被局部地加热的不良的电阻值变化，由此进行所述电路的不良分析。
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