[发明专利]MEMS电容式压力传感器以及制造方法在审
| 申请号： | 201680043400.8 | 申请日： | 2016-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN107850505A | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | V·埃尔莫洛夫;J·萨瑞拉赫蒂 | 申请（专利权）人： | 芬兰国家技术研究中心股份公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L19/06;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 欧阳帆 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本发明的示例方面，提供有MEMS电容式压力传感器(1)，其包括第一电极(17)、通过第一电极(17)和第二电极(18)之间的腔室(4)与第一电极(17)电绝缘的可变形的第二电极(18)，并且其中第一电极(17)和第二电极(18)中的至少一个包括突出进入腔室(4)中的至少一个基座(5)。根据本发明的另一个示例方面，还提供有用于制造MEMS电容式压力传感器(1)的方法。 | ||
| 搜索关键词： | mems 电容 压力传感器 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS电容式压力传感器(1)，包括：‑第一电极(17)，‑可变形的第二电极(18)，通过第一电极(17)和第二电极(18)之间的腔室(4)与第一电极(17)电绝缘，以及‑其中第一电极(17)和第二电极(18)中的至少一个包括突出进入所述腔室(4)中的至少一个基座(5)。
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