[发明专利]激光加工设备

摘要

本发明涉及一种激光加工设备，其包括用于产生和引导工作激光束的装置以及包括喷嘴(2)，喷嘴具有用于将工作激光束输出到加工区域的开口。在这种装置中定义了光轴(14)，并且在喷嘴(2)的开口附近存在使工作激光束聚焦的至少一个元件，例如切割透镜。加工过程由一种适合的装置来监控。所述监控通过针对加工过程的辐射特性的至少一组探测器装置以及与之相关联的评估单元进行，其中，每组探测装置围绕光轴(14)呈环形地布置。探测器装置的观察方向至少在位于最靠近加工区域的聚焦元件与加工区域之间的子区域内相对于工作激光束(3)的光轴(14)以大于5°的极角Phi1延伸。所述设备优选用作为激光切割设备。

主权项

一种激光加工设备，尤其是激光切割设备，所述激光加工设备具有用于产生和引导工作激光束(3)的装置并且具有喷嘴(2)，所述喷嘴(2)具有用于使所述工作激光束(3)输出到加工区域的开口，其中，在所述装置内定义光轴(14)，并且所述装置具有位于所述喷嘴的所述开口附近的、使所述工作激光束(3)聚焦的至少一个元件(18)，所述至少一个元件(18)例如为切割透镜，以及所述激光加工设备具有用于监控加工过程的装置，其特征在于包括对所述加工过程的辐射特性敏感的至少一组探测器装置(12，13)，所述探测器装置(12，13)与至少一个评估单元相关联，其中，每组所述探测器装置(12，13)围绕所述光轴(14)呈环形地布置，优选地沿着与所述光轴(14)同轴且基本垂直的至少一个圆形布置，并且所述探测器装置(12，13)的观察方向(8)至少在位于最靠近所述加工区域的聚焦元件(18)与所述加工区域之间的子区域内、优选在与所述聚焦元件(18)相距更大距离的子区域内相对于所述工作激光束(3)的所述光轴(14)以大于5°(10a)的极角优选以大于或等于7°的极角、尤其是以约为10°(10)的极角定向。